機器整備(H28_JKA補助)

JKA(競輪)補助事業導入機器(平成28年度)

[キュービックスパッタ装置]
 本機器は、真空中で金属・電子材料の薄膜を製造する真空装置で様々な薄膜形成が可能で、主に以下の用途に利用することができます。

 ・機械部品・材料の表面処理に関する試験研究
 ・機械電子部品の機能性薄膜の形成
 ・電子部品・電子材料分野における成膜試験
 ・機械・自動車関連製品の耐久性向上に関する試験研究

〈規格形式〉 SSP1000 キュービックスパッタ装置

〈製 造 者〉 株式会社管製作所

H28kiki

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